半導體製造技術與管理
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自序

  自1998年以來, 旺宏電子股份有限公司和清華大學工業工程與工程管理學系簡禎富教授有非常密切的產學合作研究,累積不少具體成果更達到產學雙贏的目標,其中包括三個半導體製造管理的國際發明專利,以及多項專利審查中。計畫成果在結合了公司同仁的後續努力進而上線推廣,更為公司帶來具體效益,其中包括「提高晶圓產出」及「晶圓圖資料挖礦與分群分類系統」已分別榮獲旺宏電子營運績效獎的最高榮譽;另一方面,簡禎富教授榮獲教育部?學合作研究獎等學術殊榮的高度肯定,參與之研究生已連續多年得到相關學會論文比賽之優等獎與佳作等獎勵亦是明證之一。

  2000年起我們開始進行力行廠區的知識管理專案,除了系統建構外,在知識內容管理問題探討中,發現公司的訓練教材和製程知識大都散落在各個資深人員手中,且沒有一致的格式,無法具體累積成為公司的資產,發揮更大效益。另一方面,觀察坊間參考書籍,也發現在工程技術上,半導體相關書籍材料難易不一,且未針對新進半導體製造領域人員所需。其他行業對半導體有興趣的人員以及在校學生,也沒有合適的相關入門參考書籍,而半導體製造管理方面的書籍更幾乎付之闕如。因此除了成功地推動旺宏電子力行廠區的知識管理工作外,更激發大家編纂一本結合旺宏電子和清華大學在半導體工程與製造管理經驗的基本參考書-「半導體製造管理與技術」的願景。在旺宏電子十餘位相關領域的資深同仁與清華大學「決策分析研究室」的團隊合作,利用公餘時間,經過二年多的共同努力,我們終於完成本書,並由清華大學出版社出版。清華大學出版社對於出版的書籍有比一般商業出版社更高的學術標準,能夠由此出版亦是對本研究團隊同仁努力的肯定。本書共約七百餘頁,主要讀者包括半導體、TFT-LCD等相關高科技產業的新進人員,以及對高科技產業有興趣的學生和社會人士。

  本書的出版是標誌旺宏電子與清華大學產學合作研究的里程碑,清華大學一向以卓越的學術理論研究而蜚聲國內外,我們感謝學校支持和孕育本團隊結合理論與實務的理想,讓我們可以走不一樣的路,並從最困難的產業實證中檢驗導向更深一層的基礎理論研究,如今終於陸續開花結果;也感謝旺宏電子高階主管支持本書的撰寫,以及國科會和旺宏電子贊助相關計畫之研究經費。因此,所有作者同意將版稅收入悉數捐給「旺宏電子文教基金會」,以從事公益文教活動。本書內容涵蓋技術與管理包羅萬象,除了感謝作者們不計酬勞不畏艱辛的付出外,也藉這個機會特別感謝王興仁、曾俊仁、曾繁斌等及清華大學「決策分析研究室」同學們不辭辛勞的執行校稿與調整統一格式等繁瑣工作,還有清華大學出版社周懷樸社長的督促勉勵與陳文芳先生的任勞任怨,才能順利將本書付梓。高科技產業是十倍速進步中的產業,本書疏漏之處在所難免,謹在此期盼諸位先進,不吝指教,廣為建言,以為我國在高科技產業的競爭優勢貢獻心力。

簡禎富 施義成 林振銘 陳瑞坤
謹識 2005.3.21


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